ブックタイトル実装技術8月号2019年特別編集版

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概要

実装技術8月号2019年特別編集版

〒194-0013 東京都町田市原町田2-6-13 ベルストーク1- 2階ユニテンプジャパン株式会社 TEL:042-860-7890 FAX:050-3730-8404 E-mail:sales@unitemp.jp詳細説明やデモのご希望など、お気軽にお問い合わせください。https://www.unitemp.jp卓上型 真空はんだリフロー装置●フラックスレスはんだ(還元方式)・フラックス入りはんだ両対応●大気リフロー、窒素ガスパージリフロー、真空リフローに標準対応●ギ酸還元リフロー、フォーミングガス(水素+窒素)リフローにオプション で対応可能●真空ポンプと組み合わせ、最大0.1Pa(10-●タッチパネル式モニターを標準装備、簡単なオペレーションが可能●上部IRヒーターオプション追加で、下面・上面からの照射に対応VSS-450-300??????????リ????00????00??50????ボイドレス・フラックスレス・鉛フリーのリフローに対応!水素還元・ギ酸還元両対応!最????????????50????最??150??????in??の????????????????を??用??最??90??????in??の????を実現真空・プロセスガス高速アニール加熱システムフロントローディング式卓上型 真空プロセス高速加熱炉RTP-150最??????????1000????????????????に????????な??スパージ????に????●窒素ガスパージ、酸素ガスパージ、フォーミングガス(水素+窒素)パージの他、高濃度 水素ガスパージにも対応。●上下24本のIR(赤外)ヒーターによって、正確で高速な加熱が可能。●窒素ガスパージ方式による降温に対応。●タッチパネル式モニター標準装備で、簡単なオペレーションが可能。●SiからSiC、GaN等々、多種多様な超高温 / 高温熱処理 ●窒化・酸化膜生成●イオン注入後の結晶活性化 ●オーミック性接合材形成 ●Low-k材熱処理熱酸化プロセスや高領域での結晶成長など、高い純度や安定性を要求される研究開発に最適な、真空・プロセスガス対応高速アニール加熱システムです。??な????????リケーシ??ン??150????(6イン??)??????ー????0-3hPa)の真空環境が可能請求番号 H0703