実装技術6月号2012年特別編集版 page 38/54

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46第22回 ファインテック ジャパンFPD製造技術展　フラットパネル・ディスプレイの研究開発／製造技術に関する展示会である第22 回 ファインテック ジャパンが、2012 年4月11日（水）～4月13日（金）の3日間に渡って....

46第22回 ファインテック ジャパンFPD製造技術展　フラットパネル・ディスプレイの研究開発／製造技術に関する展示会である第22 回 ファインテック ジャパンが、2012 年4月11日（水）～4月13日（金）の3日間に渡って、東京ビッグサイトで開催された（主催：リードエグジビションジャパン（株））。　同展示会と併せて、第3 回フィルムテック ジャパン（高機能フィルム技術展）、第1 回プラスチック ジャパン（高機能プラスチック展）も開催され、3展示会の来場者は47,528 名に上った。　　（株）アフィットでは、金属粒子直接描画レーザプリンタを展示していた。　同社では、新電子写真技術として、金属粉体粒子の描画方法の開発に成功。各種、導電金属粉体のプリンタによる描画を可能とした。金属粉体は、銅粉、ニッケル粉、金粉、銀粉などに適応させることが可能で、さらに導電粉体であるナノカーボンなど粉体凝集サイズを適合させることで利用できる新電子写真技術となっており、応用例としては、微細回路配線パターンの形成や、半導体ウエハIC への電極形成、電熱ヒータ材料などのパターン形成、また、金属光沢印刷などへの適応もある。基本的には従来の電子写真技術と機能材料を利用するので、様々な分野への応用が比較的容易に行えるという。　版レス直接描画による製造コストの低減化、高効率製造システムの出現など、次世代型の描画システムとしての取り組みができる技術となっている。　SCIVAX（株）では、UV 式ナノインプリント導入機『X100-U』を紹介していた。　ナノインプリント技術は、LEDや有機ELなどの光学素子をはじめとして電子デバイス、バイオデバイスなどの加工技術で、ナノインプリント導入機は、ナノインプリント成形のポテンシャルを判断する上で重要な役割を担うもの。本製品は、同社のXシリーズに新たに加わった装置で、低価格を実現しながらも、成形サイズ：□ 100mm、真空機構、UVLED 出力：20mW/cm2といった、上級機並みの機構を備える。再現性のある信頼性の高いデータを得ることができるコンパクトな装置となっている。　（株）日本マイクロニクスでは、大幅な歩留まりの改善とコスト削減を実現する、むら補正＋最終品質検査装置を紹介していた。　本製品は、有機ELパネルの普及に伴う製造プロセス／材料などを起因とし金属粒子直接描画レーザプリンタUV式ナノインプリント装置『X100-U』日本マイクロニクスのブース