最先端プロセス向け半導体フォトレジストの生産体制をグローバルに強化

2021年08月31日

住友化学は、このたび、最先端プロセス向けフォトレジストの生産体制を強化することといたしました。大阪工場（大阪市此花区）で、液浸ArF（フッ化アルゴン）およびEUV（極端紫外線）フォトレジストの製造ラインを増設するほか、当社100％子会社である東友ファインケムの益山工場（大韓民国全羅北道益山市）に、液浸ArFフォトレジストの製造プラントを新設します。稼働開始について、大阪工場は2023年度上期を、東友ファインケムは24年度上期を予定しています。

フォトレジストは、半導体製造プロセスにおける回路パターン形成に使用される感光性樹脂です。住友化学は、各種ファインケミカル事業で培った有機合成技術をベースに高度な製品設計・評価技術を確立し、大阪工場を中核にタイムリーな顧客対応力などを生かして事業を拡大してきました。その中でも、微細加工を要する最先端プロセスで主として使用される液浸ArFフォトレジストは、性能優位性と品質安定性により世界的に高いシェアを占めています。東友ファインケムは、線幅の広いプロセス向けのi線・KrF（フッ化クリプトン）フォトレジストの製造拠点として、20年以上にわたり生産活動を続けています。

住友化学は、19年度以降、第5世代移動通信システム（5G）の本格商用化などを背景とした最先端プロセス向けフォトレジストの需要拡大を見据え、大阪工場で段階的な生産能力増強や、クリーンルームの建設などによる開発・評価体制の強化を進めてきました。半導体市場は、データ通信の高速化や大容量化により今後も継続的な拡大が見込まれるため、今回、大阪工場での製造ライン増設に加え、事業継続計画（BCP）の観点も踏まえて、東友ファインケムへの製造プラントの新設を決定しました。これらにより、当社グループの最先端プロセス向けフォトレジストの生産能力は、24年度に19年度比で約2.5倍となります。これからも、旺盛な半導体需要に応えるべく機動的かつ積極的な供給体制の整備を進め、市場のニーズに沿った高品質な製品を安定供給することで、フォトレジスト事業の規模拡大を目指します。

住友化学は、経営として取り組む重要課題（マテリアリティ）の一つに「ICTの技術革新への貢献」を掲げています。引き続き、フォトレジストをはじめとする半導体材料事業の成長を通じて、Society5.0に代表されるスマート社会やスマートモビリティの実現に欠かせない半導体産業の発展に貢献してまいります。

東友ファインケムの概要

会社名	Dongwoo Fine-Chem Co., Ltd.
本社所在地	大韓民国京畿道平澤市
代表者	羅(ら)　仁(いん)鎬(ほ
設立年月	1991年12月
事業内容	半導体用プロセスケミカル、フォトレジスト、光学機能性フィルム、カラーフィルター、タッチセンサーなどの研究、製造、販売

以上

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