ブックタイトルメカトロニクス12月号2017年

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概要

メカトロニクス12月号2017年

8 MECHATRONICS 2017.12サブミクロンレベルの微細形状や表面粗さを高精度に測定する大型高精密金型加工の長時間連続自動運転を実現する3D測定レーザ顕微鏡を発売油加工液仕様中型ワイヤ放電加工機を発売 オリンパス(株)は、科学事業の新製品として電子部品/半導体業界、自動車業界の研究/開発や品質検査などで使用する3D 測定レーザ顕微鏡『LEXT OLS5000』を発売した。 同製品は、「4Kスキャンテクノロジー」や改良された「LEXT専用光学系」により、ほぼ垂直な形状やナノに迫る微小段差が検出可能となり、測定性能が大幅に向上。低倍率から高倍率まで高速/高精度測定が可能な「PEAKアルゴリズム」を新たに搭載し、従来比4倍のデータ取得スピードを実現。「スマートスキャンⅡ」や「解析テンプレート」機能により、データ取得からレポート作成まで一連の作業を自動化し、スタートボタンを押すだけの簡単操作を実現し、誰が使用してもばらつきのない正確な測定結果がスピーディーに得られる。拡張フレームモデルにより最大高 三菱電機(株)は、100 時間を超える長時間連続自動運転が必要な自動車/精密電子部品など向けの大型高精密金型加工ができる高精度油加工液仕様中型ワイヤ放電加工機『MX2400』を発売した。 同製品は、高推力シャフトリニアモータと高剛性リニアガイドを組み合わせた駆動システムにより、加工時の微小な軸振動を低減。ベッド部分に高剛性鋳物を採用し、リニアガイド取り付け面の高精度研削加工とこれまでに培った組み付け技術により、サブミクロン(1μm 以下)の真直度を実現。機械本体の温度を一定に制御することで長時間加工においても安定した高精度加工を可能とし、100 時間を越える直径400mm 大径真円加工において真円度2μmを実現。また、同社製新型制御装置『D-CUBES』を搭載し、19インチ大画面タッチスクリーンでの操作ナさ210mmまでのサンプルに対応し、高さ調整ブロックなどを脱着することで自由に調整できるため、様々な大きさの対象物に対応可能。超長作動距離レンズは、サンプルとレンズ間の距離を最大25mmまで確保できるため、サンプルに凹みがある場合も観察/測定ができる。 日々進化し続けるナノテクノロジー、電子機器、自動車部品の高機能/小型化に伴い、それらを構成する部品の表面形状を正しく測定し、品質を管理することの重要性は年々高まっている。従来、表面形状や表面粗さの測定にはサンプルとの接触により形状を取得する触針式粗さ測定機などが広く使われてきた。しかし、フィルムなどの柔らかいサンプルや触針径よりも微細な凹凸をもったサンプルなど、従来の測定機では測定が難しいサンプルの増加に伴い、測定技術のニーズは接触方式から非接触方式へ、線ビゲーションにより、段取りから加工までの操作数を従来比で最大40%削減。左右から定盤にアクセスできる三面昇降加工槽搭載により、大型ワークの段取り作業性を向上。さらに、安定したワイヤ電極の走行を実現する同社製サーボモータ/サーボアンプ/新型制御装置により、加工面粗さRz0.4μmを実現(超硬合金厚さ:80mm)し、後工程での磨き作業工数を低減。同社製油加工液用専用電源により、高精度加工領域での生産性を向上。 近年、環境保護の観点から自動車の電気化(EV/HEV)が進み、燃費などの性能向上のためにEV/HEVで使われるモータの大型/高性能化が進んでいる。大型で高性能なモータの製造には、高い精度の大きな金型が必要だが、加工時間が長く、平日の夜間や休日も含めた連続自動運転による生産性向上が求められている。 同社では、2017 年10 月12 日より発売しており、2018 年度30 台の販売を目標にしている。計測から面計測へといった非破壊/非接触、精密測定への発展が求められている。 同社では、2017 年10 月18日より販売を開始している。2017.12請求番号M5002請求番号M5001請求番号M0005