ブックタイトルメカトロニクス12月号2017年

概要

メカトロニクス12月号2017年

26 MECHATRONICS 2017.12半導体製造機器（S E M I C O N J a p a n）　204℃までの接着／ポッティング用途に使用されているアレムコ・プロダクツ社製窒化アルミニウム充填型高温用熱伝導／絶縁性エポキシ接着剤。特徴は、①二液型、100％固体、②ガラス／セラミック／高熱膨張金属類だけでなくポリイミドや複合材などの高温プラスチック類にも優れた接着性がある、③硬化後は1.2W/m･Kの熱伝導率、250V/mi（l 25.4μm）の絶縁耐力があり、引っ張りせん断強度は97kgf/cm2で、優れた防食性もある、など。860（2）高温用熱伝導／絶縁性エポキシ接着剤（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5　空気流にてリング／スペーサ／穴状ワークをグリップ／搬送するチャック。特徴は、①空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用により、広範囲な径のリングを空気流によりソフトに懸垂保持し搬送、②傷／汚れを付着させず、発塵を防止、③1機種で広範囲の径のことなるリングに対応可能、④保持安定性が良い、など。空気流グリッパチャック（有）ソーラーリサーチ研究所　大阪府豊中市北桜塚2-7-12製品の製造局所に設置することで、品質に影響を与える粗大粒子の常時モニタリングを可能にする落下粒子パーティクルモニタ。精密機械部品の製造工程など、人間が作業する環境「ISO 6-9級」もしくは、準クリーンルームで発生しうる製品表面に付着する落下粒子は製品の品質に影響を及ぼす。エアパーティクルカウンタなどでクリーンルームの清浄度クラス（ISO 14644-1）を管理していてもそれは落下しない浮遊粒子の環境計測である。同製品は、15μm以上の落下粒子を5分間隔で計測し、発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できる。APMON落下粒子パーティクルモニタ（株）インテクノス・ジャパン　東京都渋谷区千駄ヶ谷5-15-5小型パッケージながら大きな偏向角が可能な高速チップ／チルトピエゾミラーステージ。特徴は、①チップ／チルト角35mrad、高い光偏向角70mrad（～4°）、②歪みセンサによる高リニアリティ、③ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、④パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上、⑤2つの同一平面直交軸と1つの固定ピボットポイントを特徴とするパラレル制御設計に基づいている、⑥イナーシャを最小限に抑えた先進のフレクシャ／レバー設計により、70mradのチップ／チルトレンジと、ミリセカンドレンジの高速応答を実現、など。S-335高速チップ／チルトピエゾミラーステージピーアイ・ジャパン（株）　東京都立川市曙町2-38-5請求番号M5101請求番号M5102請求番号M5103請求番号M5104請求番号M0025