ブックタイトルメカトロニクス9月号2013年

概要

メカトロニクス9月号2013年

22 MECHATRONICS 2013.9センサ・計測・制御　ユニット拡張型データアクイジション『DATA PLATFORMGL7000』用のアナログ電圧出力ユニット。特徴は、①GL7000の各種入力アンプユニット（電圧､電圧/温度､高速電圧､高電圧､ひずみ､加速度）で収録したデータのアナログ電圧出力で測定現象の再生に活用可能、②基準信号をEXCELマクロで作成し、アナログ電圧信号を出力可能、③GL7000本体にアナログ電圧出力ユニットと他の入力アンプユニットを連結させた状態であれば、測定対象物の入出力信号を同時に接続し試験可能、など。GL7-DCOアナログ電圧出力ユニットグラフテック（株）　横浜市戸塚区品濃町503-10μN～mNの荷重分解能をもつ微小力センサ。タイプ1（901）の特徴は、①アームを伸ばした形状で、先端が荷重検出部になっており細いプローブを保持してウエハなどへの接触荷重の検出に最適、②複数のプローブの近接が可能になり、顕微鏡やCCDなど上から観察しながら使える、③センサとして歪みゲージを使用、など。タイプ2（903）の特徴は、①荷重分解能を維持しながら機構部の剛性を高めて応答性を上げた仕様、②動く試料の起伏に追従させる場合など動的な荷重測定に適し、ヒンジ機構部の剛性を選ぶことで荷重の測定レンジと分解能を柔軟に対応、③センサとして静電容量センサを使用、など。GS901 ／ 903微小力センサ（株）ナノコントロール　東京都練馬区豊玉北4-11-10同社のセンサLH500と組み合わせることで性能を発揮するスリッタ機／巻き替え検品機専用コントローラ。特徴は、①表示部、操作部に、液晶パネル並びに直感的に操作可能なアイコンを採用することで操作性を向上させている、②検出状態を表示するので、オペレータの技量によらず安定したセッティングが可能、③新設計の出力回路により、より安定した制御が実現、④操作と表示を液晶タッチパネルにすることで、前面パネル部がすっきりしている、など。AE500スリッタ機／巻き替え検品機専用コントローラ（株）ニレコ　東京都八王子市石川町2951-4X線カメラにより多層基板のパターン透視確認やパターン座標測定により基板の膨張／収縮／変形の分析や不良解析ができるX線透過式2次元測定機。特徴は、①多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバックすることで品質改善に貢献、②X線カメラのズーム機能により大パターンから小パターンの高精度な測定が可能、③X線基準穴明機で培ったX線技術を採用したにより、安定した測定を実現する、④CCDカメラも搭載しているため、X線では測定できない露光フィルムなども測定できるため、工程ごとの分析が1台で可能となる、など。MVX-818X線透過式2次元測定機（株）ムラキ　東京都中央区日本橋3-9-10可視光とバンドパスフィルタを利用してOSP膜からの反射スペクトルを演算することで非破壊／非接触に膜の厚みを精度良く求められる、従来法（UV分光法）では把握が難しかった局所的なOSPの厚みを確認できる水溶性プリフラック膜厚計。特徴は、①微小スポット0.1481μm角、②高性能CCDカメラ搭載、③オートフォーカス、④前処理不要、⑤非破壊／非接触、⑥迅速／短時間測定（1個所1分）、⑦OSP厚みの面内分布を測定、⑧狭帯域光フィルタと2次元に配列された光検出器を使用した独自の機構を採用、⑨3Dグラフィック表示により表面状態の凸凹を視覚的に表現、など。ST2080-OSP水溶性プリフラック膜厚計三洋貿易（株）　東京都千代田区神田錦町2-11ガーバーデータをマスターとした連続自動測定を行うガーバー基準2次元自動測長機。特徴は、①アートワークフィルムやプリント基板の測長、②オートフォーカス機能と形状自動認識を搭載、③エッチングラインのトップ／ボトム自動認識、④LED反射照明と透過照明を標準装備、⑤測定結果の自動合否判定、⑥エッジセンサによる測定者誤差を解消、⑦測定レポート及びExcelデータを出力、など。主な仕様は、測定精度：3＋L/100（μm）、繰り返し精度：2μm＜、画像検出：高画質CCDカメラ、ズーム：5段階オートズーム、など。MasterSCALE Ⅱガーバー基準2次元自動測長機ダイナトロン（株）　東京都北区滝野川7-2-13接液部オールテフロンにより薬液に強い圧力センサ。特徴は、①アナログ出力対応可能、②0.5MPa､1MPaをラインナップ、③形状は、Lタイプがセンサ単体型（Sensor only　Type）、Cタイプが電流出力アンプ内蔵型（Curret OutputAmp.Built in Type）など。主な仕様は、定格出力：1.5mWV±20％（L タイプ）／4 ～20mA 電流出力（Cタイプ）、非直線性：0.5％ R.O.、ヒステリシス：0.5％ R.O.、繰り返し性：0.5％ R.O.、許容負荷：120％ R.O.、推奨印加電圧：5V AC/DC（Lタイプ）／DC24W±5％（Cタイプ）、など。ZZA シリーズ圧力センサ（株）ティアンドティ　相模原市中央区すすきの町3-9磁界の強さの変化でON、OFF動作する磁気近接センサ。特徴は、①動作原理はホールICなので、有極性でS極側検出が標準、②高速応答(５μsec以下）なので、スピードメータ、回転計にも使える、③一般の近接センサに比べ、高感度（検出距離大)、小形、④ダブルセンサはサーボ原点とオーバーラン検出が１個で可能、⑤電波ノイズの干渉を受けにくい信頼性の高いセンサ、など。小型／高感度磁気近接センサアサ電子工業（株）　東京都小平市小川東町5-16-8請求番号J5057 請求番号J5061請求番号J5058 請求番号J5062請求番号J5059 請求番号J5063請求番号J5060 請求番号J5064