メカトロニクス12月号2012年 page 11/60

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MECHATRONICS 2012.12 11高精度微細加工をより安定的にする革新的な画像処理技術の搭載により油加工液仕様ワイヤ放電加工機を開発安定検査と検査時間短縮を実現する基板外観検査装置を発売三菱電機（株）は、加工液....

MECHATRONICS 2012.12 11高精度微細加工をより安定的にする革新的な画像処理技術の搭載により油加工液仕様ワイヤ放電加工機を開発安定検査と検査時間短縮を実現する基板外観検査装置を発売三菱電機（株）は、加工液に油を用いることで、より安定した高精度微細加工が可能になるワイヤ放電加工機を開発した。同製品は、安定的に高精度微細加工を実現する新開発の油加工液用専用電源『n-PV（ナノパルスV）電源』を採用し、同社従来の水加工液仕様V350 電源より細かなサイクル（4 分の1）で放電を行い、より精密に加工することで油加工液使用時に発生しやすい被加工物への割れ（クラック）・表面硬化層を抑制／除去し、安定的にサブミクロン単位の滑らかな仕上げ面を実現。被加工物と電極の間で発生する放電状態の変化をモニタ回路で検知し、放電加工が不安定になりやすい加工形状のコーナー部などにおいても、素早く放電状態を制御することにより寸法精度を向上。ワイヤ電極線を自動で挿入／結線すオムロン（株）は、2012 年1 月に発売したリフロー後基板外観検査装置『形VT-S720』の独自開発の画像処理技術による垂直立上げと安定性をそのまま継承し、さらに高速性を追求した新機種『形VT-S500』を発売した。同製品は、独自の画像処理技術により、はんだ付けの信頼性を決めるフィレット形状の特徴量を自動で抽出し検査することが可能。良品形状の特徴量（長さ、高さ、幅）に対して検査基準を設定するだけで、検査プログラムを完成させることができ、検査装置の垂直立上げを実現。装置が実装部品や検査基板の傾向を分析し、そのばらつきを吸収しながら良否を見極めることができるため、人には判別できない色の濃淡変化も認識し、より精度の高い設定／調整が可能となり、安定した検査を実現。従来品る『自動結線装置 Intelligent AT』の張力と挿入速度の分解能を上げることにより、従来の適用ワイヤの最小径φ 0.1mm をφ 0.05mm とし、微細加工にも対応。機械本体と熱源となる電源盤／制御盤／加工液ポンプとの間に断熱カバーを設けるとともに、各熱を上方向に逃がすことにより、精密加工の妨げとなる機械本体への熱の伝搬を防止。磁石を円筒状に構成したリニアモータで、磁束を360度効率良く推力に変換できるシャフトリニアモータを油加工液仕様機にも採用し、消費電力を削減するとともに、指令値に対し誤差が少ない加工を実現。300 × 200mm のX ／ Y軸移動量を確保しながら、機械構成ユニット部品を小型化したことにより、省スペース化を訴求し、設置場所を有効活用できる。電子機器製品や自動車部品市場においては、製品の高に比べカメラの有効画素を3倍以上にすることにより視野を拡大し、高分解能ながら検査タクトタイムの60％短縮（同社従来比）を実現。加えて、装置内に同時に2 枚の基板を搬入できるデュアルレーンタイプも用意し、より短時間で多くの基板検査が可能となった。生産状況や検査状況など定常的に集約した情報をリアルタイムに表示し（別売ソフトウエア）、監視することで、生産性と品質向上を両立する最適システムの実現に大きく貢献する。基板外観検査装置（AOI）は、画像処理技術を用い、プリント基板に実装されている部品のはんだ付け状態を検査する装置。近年、0603 ／ 0402 チップなど極小部品の採用により、AOI はより高分解能での検査が求められているが、高分解能化は1 回の撮像面積が小さくなるため、検査時間が長くなることが課題だった。精度化がますます進み、これに伴い量産の母体となる金型も一層の高い精度を要求されている。同社では、実用化に向けさらなる開発／評価を進め、2013 年4 月に発売／量産化を予定している。同社では、2012 年10 月12 日より発売を開始している。2012.12請求番号M5004請求番号M5003請求番号M0006