ブックタイトル実装技術10月号2018年特別編集版
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概要
実装技術10月号2018年特別編集版
39 ???????????????????????????? ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????3. FinFETの採用 ???????????????????????? ?? ???????????????????? ?????????????????????????????????? ?? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????? ?? ?????????????? ?????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????? ???????? ?????? ?? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?? ??????????????????1. ナノワイア（GAA）へ移行か？ ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???? ?????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????? ?????????????? ?? ???????? ?? ???? ?? ???????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????6????ワイア??????????プ????ス??Si??e????ALEで??????に??ッチング??????5 ??AA（??ate??a?????? aro??nd）??E??の構造??4??in??E??の??????に????性能??上（??????、??????は、????ワイアにな????能性????）IMECのデータ????に????が??工??た